美國派克930 系列隔膜閥這款產(chǎn)品可應(yīng)用：腐蝕性氣體和特種氣體，半導(dǎo)體工具，工具連接，燃?xì)夤瘢y組箱（VMB）。提供優(yōu)異的泄漏完整性，高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生，非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。
PARKER 930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設(shè)計，可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留，減少半導(dǎo)體應(yīng)用中*的工藝污染?？赏茝V的市場：半導(dǎo)體,分析實驗室,制藥,生物制藥,航空航天,工業(yè)。
該系列閥門的嚴(yán)格設(shè)計，控制閥座和隔膜應(yīng)力，以提供可靠和免維護(hù)的使用壽命。930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成，提供的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的Vericlean™ 316L不銹鋼材質(zhì)。 美國派克930系列隔膜閥面價。Vericlean™ 是派克專有的UHP級不銹鋼。隔膜是高強(qiáng)度鈷基合金材質(zhì)。
派克930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE），聚醚醚酮樹脂（PEEK®）和聚酰亞胺（Vespel®）材質(zhì)的閥座，可使930閥門與各種工藝流體相兼容。這些材料結(jié)合930系列嚴(yán)格的設(shè)計特點，給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達(dá)300 psig時極度的耐腐蝕性和大循環(huán)使用壽命。
派克930系列1-1 / 8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性，高循環(huán)使用壽命和低顆粒發(fā)生，非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。美國派克930系列隔膜閥面價歡迎新老客戶前來詢價比價。
特點與優(yōu)勢：
• 電拋光表面光潔度：5微英寸（Ra）
• 高循環(huán)使用壽命（包括耐腐蝕服務(wù)）
• 內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留
• 全壓力范圍使用:從真空到300 psig
• 內(nèi)部泄漏率：≤1 x 10-9 scc / sec He
• 外部泄漏率：≤2 x 10-10 scc / sec He
• AOP驅(qū)動，額定壓力為75 psig
這款氣動閥可以配置限位開關(guān)或接近開關(guān)，用以提供開 - 關(guān)位置指示。還有多種閥體構(gòu)造可選，包括930Y系列（Y型閥）和SM930系列（面板安裝）。閥門上內(nèi)部（閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進(jìn)行氦氣泄露測試，以確保在苛刻的UHP應(yīng)用中，保有其性能和可靠性。
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